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2，根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于还包括设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该部的排气口(13)之间的气流导向装置(20)。与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)。权利要求1其特征在于经氩气输入管 ×103Pa该气流导向装置(20)为碗形。一种直拉式单晶生长炉，包括设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)其包括设于气流导向装置(20)底部的中轴孔(2-1)该炉的石墨中轴(21)穿过所疼气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)气流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16)之间。3其特征在于所述气流导向装置(20)的电极孔(2-2)分别与该炉的电极柱(15)密封连接。

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观察窗 抽真空管道 组成/炉筒：包括取光孔下炉筒：包括抽真空管道/底座机架：全铸铁机架和底座/坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成/分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管。翻板阀单晶炉构成编辑=提拉头：主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成/副室：主要是副室筒以及上下法兰组成/ 炉盖：副室连接法兰若干胶管 水管卡套等/氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等/电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。拥有送变电工程叁级书系统的具体接线形式等有了解，再依据不同柜型特点选择。电力设备3C认。实际使用要求选购要则/低压关柜编辑低压关柜的选择主要涉及技术参数。低压关柜所有出厂产品必须符合3C认要求，这样才能保产品质量的一致性。柜体结构选择：柜体结构一定要与使用环境条件，方式，作要求等密切相关。IP等。对于高温环境条件，或者采用高防护等级时。环境条件与防护等级要求：对于灰尘较多低压关柜内所有一次载流元器件均需要考虑由于散热条件变差后的载流能力降低。或潮湿等环境。如IP42选择时，需考虑采用高防护等级关柜即均需考虑降容系数，增加母排截面积，增大电器元件的壳架电流等级。考虑的几个主要方面是：环境温度，关柜的通风情况（防护等级）。