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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2～10.0)mm/h内无级调节，它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。
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提拉式单晶炉在节能减排方面的主要目标包括，非化石能源占一次能源消费比重达到11.4%，单位国内生产总能源消耗降低16%，单位国内生产总值二氧化碳排放降低17%。要达到这样的目标，需要调用一切有效的手段，而光伏发电无疑是一种极好的选择。纵观能源利用现状，以及为实现“十一五”节能减排目标所作出的努力，在未来的节能减排目标上仍面临着重大的挑战。3，空调系统运行管理夏季将空调设定温度值下调1℃，将增加9%的耗能，冬季将设定温度上调1℃，将增加12%的耗能。因此适当调整空调设定温度值，是空调节能的有效措施。同时，利用设备系统来加强空调系统机组设备的运行管理，并根据系统负荷的变化和气象环境，及时调整空调系统运行方案，降低设备运行总率，控制空调设备的佳启停时间，可在保环境舒适的前提下，缩短空调不必要的运行时间，以实现节能运行。
